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半導体機器部品用の高純度コーティングは製品タイプによって主要な供給企業が異なります。本記事では、タイプ別の違いを踏まえながら半導体機器部品用の高純度コーティング市場の世界シェアと主要企業を整理します。
半導体機器部品用の高純度コーティングの主な製品タイプ
- プラズマスプレーコーティング
- アークスプレーコーティング
- その他
タイプ別に見た供給構造
半導体製造装置部品向け高純度コーティング市場は、主にプラズマ溶射コーティング、アーク溶射コーティング、その他という製品タイプで区分される。プラズマ溶射は高温プラズマジェットで原料粉末を溶融・加速し、緻密で高純度な皮膜を形成できるため、プラズマエッチングやCVD装置の静電チャック、フォーカスリングなど腐食環境に晒される部品に適する。アーク溶射は二本の金属ワイヤ間のアーク放電で溶融し圧縮空気で吹き付ける方式で、比較的簡便かつ低コストだが皮膜の緻密性や純度で劣り、主に導電性や耐摩耗性が求められる周辺部品に用いられる。その他にはHVOFや溶射以外のCVD、PVD、ALDなどが含まれる。各方式は成膜温度、皮膜組織、不純物管理の要求が大きく異なるため、装置メーカーの厳格な仕様に応えるには専用設備と材料ノウハウが必要となり、サプライヤーは特定方式へ特化する傾向が強い。
主要な供給企業
- UCT (Ultra Clean Holdings, Inc)
- Pentagon Technologies
- Enpro Industries
- TOCALO Co., Ltd.
- Mitsubishi Chemical (Cleanpart)
- KoMiCo
- Cinos
- Hansol IONES
- WONIK QnC
- DFtech
- TOPWINTECH
- FEMVIX
- SEWON HARDFACING CO.,LTD
- Frontken Corporation Berhad
- Value Engineering Co., Ltd
- KERTZ HIGH TECH
- Hung Jie Technology Corporation
- Oerlikon Balzers
- Beneq
- APS Materials, Inc.
- SilcoTek
- Alumiplate
- Alcadyne
- ASSET Solutions, Inc.
- Jiangsu Kaiweitesi Semiconductor Technology Co., Ltd.
- HCUT Co., Ltd
- Ferrotec (Anhui) Technology Development Co., Ltd
- Shanghai Companion
- Chongqing Genori Technology Co., Ltd
- GRAND HITEK
- HTCSolar
- ULVAC TECHNO, Ltd.
- Technetics Semi
各社が強いセグメント
半導体装置部品向け高純度コーティングの供給企業は、セグメントごとに強みが分かれる。プラズマ溶射コーティングでは、UCT、Mitsubishi Chemical（Cleanpart）、TOCALO、KoMiCo、Cinos、Hansol IONES、WONIK QnC、FEMVIX、Frontken、Oerlikon Balzers、APS Materials、SilcoTek、Alumiplate、Alcadyne、ASSET Solutions、Jiangsu Kaiweitesi、HCUT、Ferrotec（Anhui）、Chongqing Genori、GRAND HITEK、ULVAC TECHNO、Technetics Semiなどが主要な供給者として位置づけられ、特にMitsubishi Chemical（Cleanpart）、TOCALO、KoMiCo、Cinos、Hansol IONES、WONIK QnC、FEMVIX、Frontken、Oerlikon Balzers、APS Materialsが存在感を示す。アーク溶射コーティングでは、Pentagon Technologies、Enpro Industries、DFtech、TOPWINTECH、SEWON HARDFACING、Value Engineering、KERTZ HIGH TECH、Hung Jie Technology、Beneq、HCUT、Shanghai Companion、HTCSolarなどが役割を担い、Pentagon Technologies、Enpro Industries、DFtech、TOPWINTECH、SEWON HARDFACING、Value Engineering、KERTZ HIGH TECHが相対的に目立つ。その他のコーティングでは、UCT、Mitsubishi Chemical（Cleanpart）、TOCALO、KoMiCo、Cinos、Hansol IONES、WONIK QnC、FEMVIX、Frontken、Oerlikon Balzers、SilcoTek、Alumiplate、Alcadyne、ASSET Solutions、Jiangsu Kaiweitesi、Ferrotec（Anhui）、Chongqing Genori、GRAND HITEK、ULVAC TECHNO、Technetics Semiなどが多様な用途を支えている。
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